Düsseldorf / Aachen (ots) - Für das Verbundprojekt "EUV-Charakterisierung von EUV-Masken und Maskenblanks" wurde vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ein Forschungsvorhaben mit einem Volumen von fast 1,5 Mio. Euro bewilligt.
Die Zuwendung für das von der Aachener AIXUV GmbH initiierte Projekt erfolgt im Rahmen des Förderungsprogramms "KMU Innovativ Initiative". Förderungsempfänger sind AIXUV mit bis zu 881.000 Euro sowie der Lehrstuhl für die Technologie optischer Systeme der RWTH Aachen (RWTH-TOS) und das Fraunhofer Institut für Lasertechnik (FhG ILT), die in Zusammenarbeit mit AIXUV grundlegende Fragestellungen bearbeiten. AIXUV als Projektkoordinator ist eine Beteiligungsgesellschaft der Düsseldorfer Venture Capital Gesellschaft Stars Innovation AG.
Hintergrund dieses Forschungsprojekts ist die fortschreitende Miniaturisierung in der Halbleiterindustrie. Mit der konventionellen Lithographietechnik werden heute in kommerzieller Herstellung 65 nm kleine Strukturen auf Halbleiterelementen abgebildet. Eine weitere Verkleinerung wird angestrebt. Um solche und noch viel kleinere Strukturen abbilden zu können, ist die Herabsetzung der Wellenlänge in den Extremen UV-Bereich (EUV) notwendig.
Die lithographische Darstellung von Strukturen dieser Größenordnung stellt nicht nur an die Produktionsgeräte extreme Anforderungen, sondern auch an die Messinstrumente, die die Qualität der Chip-Herstellung sicherstellen sollen. Um diesen gerecht zu werden, wird AIXUV sein weltweit vermarktetes EUV-Reflektometer MBR weiter verbessern. Damit wird ein Optimum zwischen hoher Auflösung des Meßflecks und hohem Durchsatz gewährleistet. Zusätzlich wird der Prototyp einer neu entwickelten EUV-Lampe mit >100 W EUV-Leistung optimiert, getestet und für grundlegende Experimente eingesetzt.
Die AIXUV GmbH ist eine Ausgründung des Fraunhofer Instituts für Lasertechnik und des Lehrstuhls für Lasertechnik der RWTH Aachen aus dem Jahr 2000.
Die Stars Innovation AG, eine Düsseldorfer Venture Capital-Gesellschaft, wurde 2005 gegründet. Sie investiert in junge Unternehmen, die innovative Konzepte auf der Basis von Nanotechnologie entwickeln. Die Investitionsmittel kommen von privaten Anlegern, die außerbörslich am Erfolg der HighTech-Unternehmen beteiligt sein wollen.
Originaltext: Stars Innovation AG Digitale Pressemappe: http://www.presseportal.de/pm/70102 Pressemappe via RSS : http://www.presseportal.de/rss/pm_70102.rss2
Pressekontakt: Kuhrt Kommunikation Tel.: 0211 617 14 10 Mail: petersen@kuhrt.de
Die Zuwendung für das von der Aachener AIXUV GmbH initiierte Projekt erfolgt im Rahmen des Förderungsprogramms "KMU Innovativ Initiative". Förderungsempfänger sind AIXUV mit bis zu 881.000 Euro sowie der Lehrstuhl für die Technologie optischer Systeme der RWTH Aachen (RWTH-TOS) und das Fraunhofer Institut für Lasertechnik (FhG ILT), die in Zusammenarbeit mit AIXUV grundlegende Fragestellungen bearbeiten. AIXUV als Projektkoordinator ist eine Beteiligungsgesellschaft der Düsseldorfer Venture Capital Gesellschaft Stars Innovation AG.
Hintergrund dieses Forschungsprojekts ist die fortschreitende Miniaturisierung in der Halbleiterindustrie. Mit der konventionellen Lithographietechnik werden heute in kommerzieller Herstellung 65 nm kleine Strukturen auf Halbleiterelementen abgebildet. Eine weitere Verkleinerung wird angestrebt. Um solche und noch viel kleinere Strukturen abbilden zu können, ist die Herabsetzung der Wellenlänge in den Extremen UV-Bereich (EUV) notwendig.
Die lithographische Darstellung von Strukturen dieser Größenordnung stellt nicht nur an die Produktionsgeräte extreme Anforderungen, sondern auch an die Messinstrumente, die die Qualität der Chip-Herstellung sicherstellen sollen. Um diesen gerecht zu werden, wird AIXUV sein weltweit vermarktetes EUV-Reflektometer MBR weiter verbessern. Damit wird ein Optimum zwischen hoher Auflösung des Meßflecks und hohem Durchsatz gewährleistet. Zusätzlich wird der Prototyp einer neu entwickelten EUV-Lampe mit >100 W EUV-Leistung optimiert, getestet und für grundlegende Experimente eingesetzt.
Die AIXUV GmbH ist eine Ausgründung des Fraunhofer Instituts für Lasertechnik und des Lehrstuhls für Lasertechnik der RWTH Aachen aus dem Jahr 2000.
Die Stars Innovation AG, eine Düsseldorfer Venture Capital-Gesellschaft, wurde 2005 gegründet. Sie investiert in junge Unternehmen, die innovative Konzepte auf der Basis von Nanotechnologie entwickeln. Die Investitionsmittel kommen von privaten Anlegern, die außerbörslich am Erfolg der HighTech-Unternehmen beteiligt sein wollen.
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