Beitrag zur Verbesserung der Zuverlässigkeit und Sicherheit von Halbleiterbauelementen in den Bereichen IoT und Automotive
TOKIO, 3. Juni 2022 - (JCN Newswire) - Hitachi High-Tech Corporation gab die Einführung des Hitachi Dark Field Wafer Defect Inspection System DI2800 bekannt, einer kritischen Komponente in den Messtechnikfähigkeiten eines Halbleiterherstellers. Der DI2800 ist ein Hochgeschwindigkeits-Messsystem zur Identifizierung von Defekten und Partikeln auf gemusterten Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm (8 Zoll). Mit seinem hohen Durchsatz und seiner Leistung kann der DI2800 dazu beitragen, die Zuverlässigkeit und Sicherheit von Geräten zu gewährleisten, insbesondere für hochsensible Anwendungen wie das Internet der Dinge (IoT) und Automobilbereiche, in denen eine 100%ige Inspektion erforderlich ist.
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| Hitachi Dark Field Wafer Defektinspektionssystem DI2800 |
Entwicklungshintergrund
Mit dem Aufkommen von Kommunikationsnetzen der nächsten Generation (5G) und der beschleunigten Einführung von Elektrofahrzeugen in den letzten Jahren ist die Nachfrage nach Halbleiterbauelementen in den Bereichen IoT und Automobil, in denen Zuverlässigkeit und Sicherheit von größter Bedeutung sind, gestiegen. In der konventionellen Herstellung von Halbleiterbauelementen werden Stichprobenprüfungen zum Zwecke des Prozessmanagements und der Ertragsverbesserung durchgeführt. Für Halbleiterbauelemente, die im IoT- und Automobilbereich eingesetzt werden, muss jedoch eine 100%ige Inspektion durchgeführt werden, um fehlerhafte Produkte während der Herstellung zu identifizieren und eine hohe Zuverlässigkeit und Sicherheit zu gewährleisten. Um diese Bereiche bedienen zu können, muss ein Wafer-Fehlerinspektionssystem in der Lage sein, eine 100%-Inspektion mit hoher Empfindlichkeit bei hoher Geschwindigkeit durchzuführen.
Hauptmerkmale
Hitachi High-Tech hat das Dark Field Wafer Defect Inspection System DI2800 entwickelt, um diesen Marktanforderungen gerecht zu werden. Dieses Produkt verwendet Streuintensitätssimulationstechnologie, um die Beleuchtungs- und Detektionsoptik zu optimieren und eine hochempfindliche Inspektion von Muster-Wafer-Fehlern zu ermöglichen, die während des Herstellungsprozesses entwickelt wurden. Es hat eine Detektionsempfindlichkeit von 0,1 Mikron Standardpartikelgröße auf gespiegelten Wafern. Diese Leistung ist sogar auf Geräten mit einer Größe von nur 0,3 mm im Quadrat möglich, was sich zuvor aufgrund von Empfindlichkeits- und Datenverarbeitungsbeschränkungen als Herausforderung erwiesen hat. Mit einem hochoptimierten Prüfablauf ist der DI2800 in der Lage, Durchsätze von über 40 200-mm-Wafern pro Stunde zu erreichen.
Zukünftige Initiativen
Hitachi High-Tech wird dieses Produkt seinen Kunden in Kombination mit dem Advanced CD Measurement SEM CS4800 und dem 3D SEM CT1000 zur Verfügung stellen, die bereits auf dem Markt sind und die vielfältigen Anforderungen an die Messtechnik erfüllen Massenproduktion von Halbleiterbauelementen für den IoT- und Automobilbereich. Für die Zukunft engagiert sich Hitachi für die Produktverbesserung, indem es die aus allen drei Produktlinien gesammelten Daten nutzt, um neue datenbasierte Mehrwertlösungen anzubieten, die zur verbesserten Zuverlässigkeit und Sicherheit von Halbleiterbauelementen in diesen Bereichen beitragen.
Hitachi High-Tech arbeitet daran, die Anforderungen der Kunden in den Bereichen Messtechnik und Inspektion für die Forschung und Entwicklung sowie die Massenproduktion von Halbleiterbauelementen zu erfüllen, indem es elektronenstrahlbasierte Produkte wie traditionelle CD-REM- und Wafer-Inspektionssysteme auf der Grundlage optischer Technologien liefert. Hitachi High-Tech wird weiterhin innovative Lösungen für die bevorstehenden technologischen Herausforderungen anbieten. Hitachi High-Tech wird zur Entwicklung modernster Technologien beitragen, indem es in Zusammenarbeit mit seinen Kunden neue soziale und ökologische Werte schafft.
Über Hitachi High-Tech
Hitachi High-Tech mit Hauptsitz in Tokio, Japan, ist in einer Vielzahl von Bereichen tätig, darunter die Herstellung und der Vertrieb von klinischen Analysatoren, Biotechnologieprodukten und Analyseinstrumenten, Halbleiterfertigungsanlagen und Analysegeräten. und die Bereitstellung von Lösungen mit hoher Wertschöpfung in den Bereichen soziale & industrielle Infrastrukturen und Mobilität usw. Der konsolidierte Umsatz des Unternehmens für das Geschäftsjahr 2021 betrug ca. JPY 576,8 Milliarden [USD 5,1 Milliarden]. Weitere Informationen finden Sie unter http://www.hitachi-hightech.com/global/
Quelle: Hitachi, Ltd.
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