(DGAP-Media / 16.06.2014 / 11:26)
SÜSS MicroTec veranstaltet Technologieforum zum Thema Nanoimprint in
Grenoble
Garching, 16. Juni 2014 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen
und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte,
veranstaltet am 24. Juni 2014 ein Technologie Forum zum Thema Nanoimprint
Lithografie in Grenoble. Während des eintägigen Workshops werden Experten
aus Industrie sowie Forschung und Entwicklung aktuelle Trends und
Entwicklungen in der Nanoimprint Lithografie vorstellen und diskutieren. Im
Rahmen der Veranstaltung besteht die Möglichkeit, die Reinräume des CIME
nanotech (Centre Interuniversitaire de MicroElectronique et
Nanotechnologies) zu besichtigen.
Um sich für die Veranstaltung zu registrieren, besuchen Sie unsere Webseite
www.suss.com
Die Nanoimprint Lithografie (NIL) ist eine vielseitige Schlüsseltechnologie
für Produktionstechnologien im Nanobereich und ist Bestandteil des ITRS
Lithografie-Fahrplans im Hinblick auf die Machbarkeit von Strukturbreiten
von 32 und 22 nm. Bei der Replikation von Strukturen im Nanometerbereich
von einem Master-Stempel hat sich diese Technologie als besonders effektiv
erwiesen. Die Zuverlässigkeit des Replikationsprozesses hängt dabei von der
Fähigkeit ab, einen entsprechenden maßhaltigen Master-Stempel herzustellen.
NIL hat sich bereits bei Auflösungen von unter 50 µm bewährt, und das bei
vergleichsweise niedrigen Kosten. Es kann deshalb erwartet werden, dass
diese Technologie eine führende Rolle bei der Kommerzialisierung von
Nanostrukturen spielen wird. Die Maschinen von SÜSS MicroTec unterstützen
neue und kostensparende Mikro-/Nanoreplikationstechnologien wie
UV-Nanoimprinting für kleine oder große Flächen.
"Das Technologie Forum ist unsere globale Plattform für Workshops und
findet im Markt eine große Akzeptanz. Viele Kunden und Partner nutzen das
Forum zum Informationsaustausch und zum Netzwerken.", erklärt Frank P.
Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG. "Nanoimprinting ist
eine vielseitig einsetzbare Technologie für verschiedenste
Anwendungsbereiche, deshalb erwarten interessante Vorträge und
Diskussionen im Rahmen des Forums."
Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec, gelistet im TecDAX der Deutsche Börse AG, ist einer der
weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die
Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In
enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt
SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration und
Nanoimprint Lithographie sowie Schlüsselprozesse für die MEMS und LED
Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von
SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für
Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei
München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.
Kontakt:
SÜSS MicroTec AG
Franka Schielke
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching, Deutschland
Tel.: +49 (0)89 32007-161
Fax: +49 (0)89 32007-451
Email: franka.schielke@suss.com
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June 16, 2014 05:26 ET (09:26 GMT)
