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SÜSS MicroTec präsentiert RCD8: Die neue Belackungs- und Entwicklungsplattform

SÜSS MicroTec AG / Schlagwort(e): Unternehmen/ 
SÜSS MicroTec präsentiert RCD8: Die neue Belackungs- und 
Entwicklungsplattform: 
 
DGAP-Media / 19.03.2012 / 18:21 
 
=-------------------------------------------------------------------- 
 
PRESS RELEASE 
 
 
SÜSS MicroTec präsentiert RCD8: Die neue Belackungs- und 
Entwicklungsplattform 
 
Garching, 19. März 2012 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen 
und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat 
heute mit der RCD8 eine neue manuelle Geräteplattform zum Belacken und 
Entwickeln von Substraten in den Markt eingeführt. Eine hohe Flexibilität 
in den Anwendungsbereichen bei gleichzeitig niedrigen Investitionskosten 
zeichnet die neue Plattform aus. Darüber hinaus erlaubt das Gerät einen 
unproblematischen Prozesstransfer von der RCD8 auf SÜSS MicroTec 
Produktionsanlagen. 
 
Die RCD8 bietet derzeit als einziges System im Markt die Möglichkeit es 
innerhalb von wenigen Minuten von einem Spinbelacker - mit unserer 
patentierten GYRSET Technologie - zu einem Sprühentwickler umzurüsten. 
Das Gerät kann für jede Anwendung spezifisch konfiguriert werden, 
angefangen von einem einfachen manuellen Spinbelacker bis hin zu einem 
halbautomatischen Belacker mit GYRSET Technologie sowie Stand- und 
Sprühentwickler, welche sowohl in der Forschung und Entwicklung als auch 
Kleinserienproduktion eingesetzt werden können. 
 
In der Vergangenheit wurden dedizierte Geräte der Delta Serie zum Belacken 
und Entwickeln in den Segmenten MEMS, LED, Advanced Packaging und der 
Forschung und Entwicklung eingesetzt. Diese unterschiedlichen Geräte werden 
nun in der neuen RCD8 Plattform vereint. Sie deckt alle notwendigen 
Belackungs- und Entwicklungsschritte bei den verschiedenen 
Anwendungsgebieten ab. 
 
Als zusätzliche Option kann die patentierte GYRSET Technologie in das 
RCD8 Spinbelackungsmodul integriert werden. Bei verschiedenen Fotolacken 
und Anwendungen ermöglicht die GYRSET Technologie eine größere 
Prozessvielfalt und darüber hinaus kann der Materialeinsatz deutlich 
reduziert werden. Diese Technologie erlaubt es auch eckige Substrate 
vollständig und gleichmäßig mit Fotolack zu beschichteten. 
 
'Wann immer Veränderungen und Anpassungen nötig sind, kann dieses 
vielseitige Gerät mit verschiedenen Zusatzfunktionen ausgestattet werden, 
um die zukünftigen Anforderungen unserer Kunden optimal zu erfüllen', sagt 
Frank P. Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG. 'Durch die 
große Vielfalt an Substrathalterungen und möglichen Konfigurationen können 
mit der RCD8 nahezu alle Substratmaterialen und -formen belackt und 
entwickelt werden.' 
 
 
Über SÜSS MicroTec 
SÜSS MicroTec (gelistet im TecDAX der Deutsche Börse AG) ist einer der 
weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die 
Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In 
enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt 
SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration 
Nanoimprint Lithographie und Schlüsselprozesse für die MEMS und LED 
Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von 
SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für 
Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei 
München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com. 
 
 
 
 
Kontakt: 
SÜSS MicroTec AG 
Franka Schielke 
Schleissheimer Strasse 90 
85748 Garching, Deutschland 
Tel.: +49 (0)89 32007-161 
Fax: +49 (0)89 32007-451 
Email: franka.schielke@suss.com 
 
 
Ende der Pressemitteilung 
 
=-------------------------------------------------------------------- 
 
19.03.2012 Veröffentlichung einer Pressemitteilung, übermittelt durch 
die DGAP - ein Unternehmen der EquityStory AG. 
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent / Herausgeber 
verantwortlich. 
 
Die DGAP Distributionsservices umfassen gesetzliche Meldepflichten, 
Corporate News/Finanznachrichten und Pressemitteilungen. 
Medienarchiv unter http://www.dgap-medientreff.de und 
http://www.dgap.de 
 
=-------------------------------------------------------------------- 
 
 
Sprache:        Deutsch 
Unternehmen:    SÜSS MicroTec AG 
                Schleissheimer Strasse 90 
                85748 Garching 
                Deutschland 
Telefon:        +49 (0)89 32007-161 
Fax:            +49 (0)89 32007-451 
E-Mail:         ir@suss.com 
Internet:       www.suss.com 
ISIN:           DE000A1K0235 
WKN:            A1K023 
Börsen:         Regulierter Markt in Frankfurt (Prime Standard); 
                Freiverkehr in Berlin, Düsseldorf, Hamburg, München, 
                Stuttgart 
 
 
Ende der Mitteilung    DGAP-Media 
=-------------------------------------------------------------------- 
161259 19.03.2012 
 

(END) Dow Jones Newswires

March 19, 2012 13:21 ET (17:21 GMT)

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