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SÜSS MicroTec präsentiert RCD8: Die neue Belackungs- und
Entwicklungsplattform:
DGAP-Media / 19.03.2012 / 18:21
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PRESS RELEASE
SÜSS MicroTec präsentiert RCD8: Die neue Belackungs- und
Entwicklungsplattform
Garching, 19. März 2012 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen
und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat
heute mit der RCD8 eine neue manuelle Geräteplattform zum Belacken und
Entwickeln von Substraten in den Markt eingeführt. Eine hohe Flexibilität
in den Anwendungsbereichen bei gleichzeitig niedrigen Investitionskosten
zeichnet die neue Plattform aus. Darüber hinaus erlaubt das Gerät einen
unproblematischen Prozesstransfer von der RCD8 auf SÜSS MicroTec
Produktionsanlagen.
Die RCD8 bietet derzeit als einziges System im Markt die Möglichkeit es
innerhalb von wenigen Minuten von einem Spinbelacker - mit unserer
patentierten GYRSET Technologie - zu einem Sprühentwickler umzurüsten.
Das Gerät kann für jede Anwendung spezifisch konfiguriert werden,
angefangen von einem einfachen manuellen Spinbelacker bis hin zu einem
halbautomatischen Belacker mit GYRSET Technologie sowie Stand- und
Sprühentwickler, welche sowohl in der Forschung und Entwicklung als auch
Kleinserienproduktion eingesetzt werden können.
In der Vergangenheit wurden dedizierte Geräte der Delta Serie zum Belacken
und Entwickeln in den Segmenten MEMS, LED, Advanced Packaging und der
Forschung und Entwicklung eingesetzt. Diese unterschiedlichen Geräte werden
nun in der neuen RCD8 Plattform vereint. Sie deckt alle notwendigen
Belackungs- und Entwicklungsschritte bei den verschiedenen
Anwendungsgebieten ab.
Als zusätzliche Option kann die patentierte GYRSET Technologie in das
RCD8 Spinbelackungsmodul integriert werden. Bei verschiedenen Fotolacken
und Anwendungen ermöglicht die GYRSET Technologie eine größere
Prozessvielfalt und darüber hinaus kann der Materialeinsatz deutlich
reduziert werden. Diese Technologie erlaubt es auch eckige Substrate
vollständig und gleichmäßig mit Fotolack zu beschichteten.
'Wann immer Veränderungen und Anpassungen nötig sind, kann dieses
vielseitige Gerät mit verschiedenen Zusatzfunktionen ausgestattet werden,
um die zukünftigen Anforderungen unserer Kunden optimal zu erfüllen', sagt
Frank P. Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG. 'Durch die
große Vielfalt an Substrathalterungen und möglichen Konfigurationen können
mit der RCD8 nahezu alle Substratmaterialen und -formen belackt und
entwickelt werden.'
Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec (gelistet im TecDAX der Deutsche Börse AG) ist einer der
weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die
Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In
enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt
SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration
Nanoimprint Lithographie und Schlüsselprozesse für die MEMS und LED
Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von
SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für
Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei
München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.
Kontakt:
SÜSS MicroTec AG
Franka Schielke
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching, Deutschland
Tel.: +49 (0)89 32007-161
Fax: +49 (0)89 32007-451
Email: franka.schielke@suss.com
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19.03.2012 Veröffentlichung einer Pressemitteilung, übermittelt durch
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Unternehmen: SÜSS MicroTec AG
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March 19, 2012 13:21 ET (17:21 GMT)
