IMS Nanofabrication AG ("IMS") (www.ims.co.at) gab heute bekannt, dass sich die Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (TSMC) an der Multistrahl Maskenschreiber "Collaboration" beteiligen wird zusammen mit den Gründungsmitgliedern Dai Nippon Printing Co., Ltd. (DNP), Intel Corporation und Photronics Inc. Ziel dieses gemeinsamen Programms ist die Entwicklung eines Elektronen Multistrahl Maskenschreibers für moderne Maskenlithographieanwendungen. Dabei sollen die Lithographiespezifikationen für den 10-Nanometer-Bereich eingehalten und die erforderlichen hohen Durchsatzraten erzielt werden. Das Programm steht kurz vor dem Abschluss der Konzeptnachweis-Phase und die folgende Phase der Zusammenarbeit wird der Entwicklung und Realisierung von Alpha und Beta Versionen des Multistrahl Maskenschreibers gewidmet sein.
"Die neu initiierte Entwicklung der Alpha- und Beta Versionen des Elektronen Multistrahl Maskenschreibers wird durch die Zusammenarbeit von TSMC mit DNP, Intel und Photronics bedeutsam unterstützt", erklärte Elmar Platzgummer, CEO und Chief Technology Officer bei IMS.
C.S. Yoo, Head of E-Beam Operation (EBO) bei TSMC, erläuterte: "Wir freuen uns sehr auf die Zusammenarbeit mit IMS und anderen Partnern, die an diesem Multistrahl Maskenschreiber Projekt beteiligt sind. Wir sind äußerst optimistisch angesichts der Zielsetzung dieser Partnerschaft, bis etwa zum Jahr 2015 einen Maskenschreiber im 10-Nanometer-Node-Bereich mit hoher Präzision und Produktivität herstellen zu können. Dieses Projekt besitzt großes Potenzial, diesen Durchbruch erzielen zu können."
Die Gründungsmitglieder begrüßen die Beteiligung von TSMC und sind der Überzeugung, dass die Zusammenarbeit Ausdruck der Unterstützung sowohl vonseiten der kommerziellen als auch der internen (captive) Mask Shops ist. IMS geht davon aus, dass durch die Integration der Kunden in Entwicklung, Design, und Realisierung optimal für die effektive Nutzung dieser neuen Maskenschreiber erfolgt. Die Teilnehmer an der "Collaboration" werden IMS über Ziele und Anforderungen der Maskenproduktion informieren, welche auch von besonderer Bedeutung für führende Geräteproduzenten sind. Die Teilnehmer an der Zusammenarbeit profitieren von dem frühen Zugang zur eMET (electron Mask Exposure Tool) Technologie und der Kommerzialisierung der Technologie in Partnerschaft mit weiteren Unternehmen. Die "Collaboration" repräsentiert ein neue Konzeption hinsichtlich einer erfolgreichen Durchführung von Entwicklungsprogrammen, die benötigt werden, um den wichtigen Anforderungen bei der Maskenproduktion gerecht zu werden.
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Über DNP
DNP ist eines der weltweit größten Mask Shops. Die große Bandbreite der Geschäftszweige von DNP umfasst unter anderem Druck für Veröffentlichungen, Werbedruck, Smartcards, Formulare, Netzwerke und elektronische Komponenten. Die Produktpalette im Elektronikbereich beinhaltet Farbfilter und andere LCD-Komponenten, Fotomasken, PCBs und Komponenten für halbleiternahe Technologien. DNP ist Weltmarktführer im Bereich Fotomasken. Dabei profitiert das Unternehmen von seinen anerkannten Technologien und seiner langjährigen Erfahrung bei der Produktion modernster Fotomasken. Weitere Informationen über DNP finden Sie unter http://www.dnp.co.jp/eng/
Über IMS
IMS Nanofabrication AG ("IMS") ist ein in Österreich ansässiges Hightech-Unternehmen. IMS wurde im Dezember 2006 durch die Fusion der ehemaligen IMS Nanofabrication GmbH und der IMS - Ionen Mikrofabrikations Systeme GmbH gegründet. Auf der Grundlage seines eingehenden Know-hows auf dem Gebiet der Systeme geladener Teilchen bietet IMS Lösungen für die direkte Übertragung maßgeschneiderter Muster zur Erzeugung zwei- und dreidimensionaler Oberflächenmodifikationen für Strukturierungen unter 20 Nanometer Strukturbreite. IMS konzentriert sich auf die Entwicklung und Produktion wichtiger Komponenten für Maskenschreiber und Direktschreib-Lithographieanwendungen. Das Unternehmen plant die Kommerzialisierung seiner Technologie und damit zusammenhängender Serviceleistungen in Zusammenarbeit mit strategischen Investoren, die sich an dieser Finanzierungsrunde beteiligen, und mit anderen Firmen aus dem Umfeld des Masken- und Lithographie-Ökosystems. Weitere Informationen über die IMS Nanofabrication AG finden Sie unter www.ims.co.at
Über Intel
Intel (NASDAQ:INTC) ist ein Weltmarktführer bei Computerinnovationen. Das Unternehmen entwirft und fertigt essenzielle Technologien, die als Grundlage für Computergeräte auf der ganzen Welt dienen. Weitere Informationen über Intel auf newsroom.intel.com sowie blogs.intel.com
Intel ist eine Marke der Intel Corporation in den Vereinigten Staaten und anderen Ländern.
Über Photronics
Photronics Inc. ist ein weltweit führender Hersteller von Fotomasken. Fotomasken sind Hochpräzisionsquarzplatten, die mikroskopische Strukturen von elektronischen Schaltkreisen enthalten. Als Schlüsselelement bei der Herstellung von Halbleitern werden Fotomasken dazu verwendet, Schaltkreisstrukturen während der Herstellung von integrierten Schaltkreisen, unterschiedlichen Flachbildschirmen und auch von anderen elektrischen oder optischen Komponenten auf Halbleiterwafer und Flat-Panel-Substrate zu übertragen. Fotomasken werden in Übereinstimmung mit den Schaltkreisentwürfen gefertigt, die von den Kunden in strategisch positionierten Produktionsanlagen in Asien, Europa und Nordamerika bereitgestellt werden. Zusätzliche Informationen über das Unternehmen finden Sie unter www.photronics.com
Über TSMC
Das im Jahr 1987 gegründete Unternehmen TSMC ist die weltweit größte, auf Halbleiter spezialisierte Foundry. Als führendes Unternehmen im Dedicated IC Foundry Segment und dessen Begründer genießt TSMC ein besonderes Renommee als Anbieter moderner und "More-than-Moore" Waferproduktionsprozesse aufgrund seiner unübertroffenen Produktionseffizienz. Von Beginn an war TSMC Anbieter der führenden Technologien im Foundry-Segment und von TSMC COMPATIBLE® Designserviceleistungen. TSMC konnte mithilfe verlässlicher Partnerschaften mit großen und kleinen Kunden ein stetiges hohes Wachstum erzielen. Lieferanten integrierter Schaltkreise aus aller Welt vertrauen bei ihren Produktionsanforderungen auf TSMC aufgrund seiner einzigartigen Integration modernster Prozesstechnologien, innovativer Designserviceleistungen sowie der besonderen Produktionsproduktivität und Produktqualität. Weitere Informationen über das Unternehmen finden Sie unter www.tsmc.com
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Dr. Hans Löschner
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