von Klaus Schachinger, €uro am SonntagDie Chiplithografie-Anlagen des niederländischen Weltmarktführers ASML nutzen extrem kurzwelliges UV-Licht (EUV), um Baupläne mit Chipstrukturen unterhalb von zehn Nanometern auf Siliziumscheiben, sogenannte Wafer, zu übertragen. Zum Verständnis: Der Durchmesser eines menschlichen ...Den vollständigen Artikel lesen ...