von Stephan Bauer, Euro am Sonntag Der Chipausrüster ist weltweit führend bei Maschinen für sogenannte Chip-Lithografie. Bei diesem Verfahren werden die feinen Chipstrukturen optisch ins Siliziummaterial eingebrannt. Die Niederländer sind Spitze in der EUV-Lithografie, kurz für Extreme Ultraviolet ...Den vollständigen Artikel lesen ...