Die Ohio State University aus den USA hat von Aixtron ein MOCVD-System erworben. Das Close Coupled Showerhead System wird für die Epitaxie von Galliumoxid und Aluminiumgalliumoxid auf 100-mm-Substraten eingesetzt. Ziel ist die Entwicklung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation mit breiter oder ultrabreiter Bandlücke. Finanzielle ...Den vollständigen Artikel lesen ...
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