Dem Forschungsprojekt von Fraunhofer IISB, Wacker Chemie und AlzChem zufolge geraten vor allem über die Quarzguttiegel-Beschichtung unerwünschte Metalle in das Silizium. In den Tiegeln wird Silizium geschmolzen. Diese Erkenntnisse erlauben Herstellern Vorhersagen zur Qualität von Siliziumblöcken in Abhängigkeit von den Prozesshilfsstoffen.Warum kommt es bei der Herstellung multikristalliner Siliziumblöcke zu metallischen Verunreinigungen? Dieser Frage ist ein Team von Wissenschaftlern des Fraunhofer-Instituts für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB, Wacker Chemie und AlzChem im ...Den vollständigen Artikel lesen ...
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